Vakuumo generatoriai užtikrina reikiamą vakuumą. Vakuumas sudaromas pneumatiniu būdu (išmetimo įrenginiai), arba elektriniu būdu (siurbliai, pūstuvai). Pneumatiniai vakuumo generatoriai užtikrina trumpą ciklo laiką, o dėl savo kompaktiško ir lengvo dizaino gali būti montuojami tiesiogiai į sistemas. Ežektoriai siūlo išmaniąsias energijos ir procesų valdymo funkcijas. Elektriniai vakuumo generatoriai naudojami, kai nėra suslėgto oro arba reikalinga labai didelė siurbimo galia.